Tung procesTilskuddet udgør en procentdel af virksomhedens CO₂-afgift af energiprodukter, som anvendes til en proces nævnt i bilaget til CO₂-afgiftsloven (tung proces), jf. CO₂-tilskudslovens § 1 a, stk. 1. Af disse energiprodukter ydes en forhøjet godtgørelse af CO₂-afgiften, jf. CO₂-afgiftslovens § 9, stk. 2. 

Der er således sammenfald mellem det energiforbrug, som der ydes godtgørelse til efter reglerne om tung proces og det energiforbrug, der ydes tilskud til efter en procesaftale. Virksomheden kan dog have forbrug til tung proces, som ikke er omfattet af aftalen.

I forbindelse med at den forhøjede godtgørelse er blevet nedtrappet fra 1996, er tilskuddet øget tilsvarende:

For elektricitet anvendt til vækstlys, har tilskuddet siden 1. oktober 1997 udgjort 22 pct. Dette skyldes, at der alene ydes godtgørelse af 75 pct. af CO₂-afgiften af den elektricitet, som anvendes til vækstlys, jf. CO₂-afgiftslovens § 9, stk. 9. ►Ved lov nr. 1417 af 21. december 2005 blev satsen ændret fra 75 pct. til 61/86.◄

►I lov om statstilskud til dækning af udgifter til kuldioxidafgift i visse virksomheder med et stort energiforbrug, er der foretaget følgende ændringer vedrørende elektricitet:◄

►I § 1a, stk. 2, blev der indsat efter 2. pkt. som nyt punktum: "For varer omfattet af § 2, stk. 1, nr. 8, i lov om kuldioxidafgift af visse energiprodukter udgør tilskuddet 11/43 af afgiften".◄

►I § 1b, stk. 1, blev der indsat som 3. pkt.: "For varer omfattet af § 2, stk. 1, nr. 8, i lov om kuldioxidafgift af visse energiprodukter udgør tilskuddet 11/43 af afgiften."◄

►Ændringerne trådte i kraft den 1. januar 2008 ved bekendtgørelse nr. 1327 af 30. november 2007.◄

Rumvarme/varmt vandTilskuddet udgør 22 pct. af energiafgift og CO2-afgift af afgiftspligtige brændsler og el til ikke-godtgørelsesberettiget rumvarme og varmt vand i virksomheden - herunder evt. kvadratmeterafgift, "afgift" af overskudsvarme og energiafgift og CO2-afgift af et fjernvarmeforbrug.