Tung procesTilskuddet udgør 37,6 pct. af energispareafgiften af el til tung proces. Tilskud til energispareafgiften af el til vækstlys udgør også 37,6 pct. afgiften.

Indtil udgangen af 2009 kunne virksomheder, der har indgået en procesaftale også få tilskud til CO₂-afgift af andet energiforbrug (energiprodukter), som anvendtes til en proces nævnt i bilaget til CO₂-afgiftsloven (tung proces).

Der var således sammenfald mellem det energiforbrug, som der kunne ydes godtgørelse efter reglerne om tung proces og det energiforbrug, der ydes tilskud til efter en procesaftale. Virksomheden kunne dog have forbrug til tung proces, som ikke var omfattet af aftalen.

Nedenstående oversigt viser tilskuddets størrelse siden 1996:

Rumvarme/varmt vandTilskuddet udgør 22 pct. af energiafgift og CO₂-afgift af afgiftspligtige brændsler og el til ikke-godtgørelsesberettiget rumvarme og varmt vand i virksomheden - herunder evt. kvadratmeterafgift, "afgift" af overskudsvarme og afgift på et fjernvarmeforbrug.

Elektricitet til produktion af rumvarme og varmt vand
 Med virkning fra 1. januar 2012 er der sket en nedsættelse af elafgiften for elektricitet, som momsregistrerede virksomheder anvender til at fremstille rumvarme og varmt vand .

 Der er tale om en ændring af elafgiftslovens § 11, stk. 3, som er sket ved lov nr. 625 af 14. juni 2011 (Ændring af erhvervenes energiforbrug m.v.) 

 Denne afgift svarer herefter til den reducerede elafgift (elvarmeafgift), der gælder for el-opvarmenede helårsboliger .

 Nedsættelsen af elafgiften gælder også for elektricitet, som momsregistrerede virksomheder omfattet af bilag 1 til elafgiftsloven (liberale erhverv mv.) anvender til rumvarme og varmt vand. Det drejer sig eksempelvis om advokater, revisorer og forlystelsesvirksomheder. Det vil sige virksomheder, der hidtil har været helt afskåret fra at få godtgørelse af elafgift .

 Nedsættelsen af elafgiften gælder derimod ikke forbrug af elektricitet til drift af ventilatorer og pumper mv., der fører varme eller kulde frem til de pågældende lokaler .

 Afgiftsnedsættelsen er gennemført som en ordning med delvis godtgørelse af elafgiften. Godtgørelsen udgør i 2012 11,8 øre/kWh. Det er en betingelse for delvis godtgørelse af elafgift, at elektriciteten er forbrugt af virksomheden. Det er endvidere en betingelse, at virksomheden har fradragsret for indgående moms for elektriciteten .

 Tilskuddet beregnes af elafgiften efter reduktion med den delvise godtgørelse. Det vil sige, at for 2012 er beregningsgrundlaget for tilskuddet 62,4 øre (74,2 øre - 11,8 øre) pr. kWh elektrcitet, der er anvendt til rumvarme og varmt vand. Derudover kan tilskuddet beregnes af energispareafgiften på den anvendte elektricitet til rumvarme og varmt vand .